薄膜厚度測量儀以F20平臺為基礎所發展的F10-HC薄膜測量系統，能夠快速的分析薄膜的反射光譜資料并提供測量厚度，加上F10-HC軟件的模擬演算法設計，能夠在厚膜中測量單層與多層(例如：底漆或硬涂層等)。

TranSpec Micro薄膜厚度測量新的光纖耦合TranSpec Micro薄膜厚度顯微鏡可以將薄膜厚度測量點的大小降到50-100um。測量點的圖像可通過裝在顯微鏡上的特殊彩色相機實時查看。TranSpec Micro薄膜厚度測量儀和我們TranSpec和TranSpec Lite儀器一樣采用白光干涉原理。為了測量非常小的點，TranSpec Micro使用裝有實時顯示相機的光纖耦合顯微鏡。